| Индекс УДК | 539.23 |
|
Получение и свойства тонких пленок с кремниевыми, германиевыми и кремний-германиевыми наноструктурами [монография] Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Бестпринт |
| Дата издания оригинала | 2018 |
| Объем | 219, [1] c. |
| Аннотация | В монографии изложены результаты фундаментальных и прикладных исследований кремний-германиевых наноструктурированных пленок и нанокластеров. Описаны различные методы получения и исследования пленок для создания нанокластеров и использования их при разработке альтернативных высокоэффективных нанотехнологий. |
| Ключевые слова | тонкие пленки |
| Другие авторы | Ковалевский, Александр Адамович |
