Поиск

Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии

Авторы: Францкевич, Н. В. Францкевич, А. В. Федотов, А. К. Мазаник, А. В.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/436102571
Дата корректировки 21:24:36 13 октября 2015 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Францкевич, Н. В.
Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии
Текст
комбинационное рессеяние
сканирующая электронная микроскопия
пластины кремния
конусообразные структуры
Францкевич, А. В.
Федотов, А. К.
Мазаник, А. В.
Труды БГТУ
2013
№ 6.- С. 76-79
Тип документа b