Поиск

Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии

Авторы: Францкевич, Н. В. Францкевич, А. В. Федотов, А. К. Мазаник, А. В.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии
Текст
Труды БГТУ
2013
№ 6.- С. 76-79