Индекс УДК | 621.315.592 |
Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии Текст |
|
Труды БГТУ 2013 № 6.- С. 76-79 |