Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии
Францкевич, Н. В., Францкевич, А. В., Федотов, А. К., Мазаник, А. В.
Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии , [Текст]
Труды БГТУ, 2013, № 6.- С. 76-79
