| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/223240910 |
| Дата корректировки | 21:08:19 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382.06(062.532) |
| Ковальчук, Г. Ф. | |
|
Методы и результаты определения параметров измерительных каналов передачи широкополосных сигналов зондовых систем для контроля изделий микро- и наноэлектроники на кристалле Текст |
|
| Библиография | Библиогр.: 7 назв. |
|
зондовые системы контроля ЗСК контроль изделий микроэлектроника наноэлектроника |
|
|
Минченко, В. А. Школьник, С. Б. |
|
|
Метрология и приборостроение 2012 № 4. - С. 28-32 |
|
| Тип документа | b |
