| Индекс УДК | 621.382.06(062.532) |
|
Методы и результаты определения параметров измерительных каналов передачи широкополосных сигналов зондовых систем для контроля изделий микро- и наноэлектроники на кристалле Текст |
|
|
Метрология и приборостроение 2012 № 4. - С. 28-32 |
