Поиск

Неизотермическая физико-химическая модель синтеза пленок оксинитридов методом реактивного распыления

Авторы: Барыбин, А. А. Завьялов, А. В. Шаповалов, В. И.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/404304263
Дата корректировки 20:59:50 13 октября 2015 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 666.1.036
Барыбин, А. А.
Неизотермическая физико-химическая модель синтеза пленок оксинитридов методом реактивного распыления
Текст
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 36 назв.
реактивное распыление
оксинитрид
синтез пленок
физико-химические модели
Завьялов, А. В.
Шаповалов, В. И.
Физика и химия стекла
2012
Т. 38, № 4. - С. 515-522
Тип документа b