Поиск

Неизотермическая физико-химическая модель синтеза пленок оксинитридов методом реактивного распыления

Авторы: Барыбин, А. А. Завьялов, А. В. Шаповалов, В. И.
Подробная информация
Индекс УДК 666.1.036
Неизотермическая физико-химическая модель синтеза пленок оксинитридов методом реактивного распыления
Текст
Физика и химия стекла
2012
Т. 38, № 4. - С. 515-522