Неизотермическая физико-химическая модель синтеза пленок оксинитридов методом реактивного распыления
Барыбин, А. А., Завьялов, А. В., Шаповалов, В. И.
Неизотермическая физико-химическая модель синтеза пленок оксинитридов методом реактивного распыления, [Текст]
ил.
Физика и химия стекла, 2012, Т. 38, № 4. - С. 515-522