Поиск

Керамические фторидные мишени для магнетронного распыления, формируемые методом полусухого прессования с вакуумным уплотнением

Авторы: Подденежный, Е. Н. Бойко, А. А. Дробышевская, Н. Е. Белый, Д. И. Павленок, А. В.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/402593311
Дата корректировки 13:39:46 13 сентября 2016 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.781.75
Подденежный, Е. Н.
Керамические фторидные мишени для магнетронного распыления, формируемые методом полусухого прессования с вакуумным уплотнением
Текст
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 13 назв.
керамические фторидные мишени
магнетронное распыление
полусухое прессование
Бойко, А. А.
Дробышевская, Н. Е.
Белый, Д. И.
Павленок, А. В.
Вестник Гомельского государственного технического университета имени П. О. Сухого
2012
№ 3. - С. 62-67
Тип документа b