Маркер записи | n |
Контрольный номер | RU/IS/BASE/402593311 |
Дата корректировки | 13:39:46 13 сентября 2016 г. |
Код языка каталог. | rus |
Правила каталог. | PSBO |
Код языка издания | rus |
Индекс УДК | 621.781.75 |
Подденежный, Е. Н. | |
Керамические фторидные мишени для магнетронного распыления, формируемые методом полусухого прессования с вакуумным уплотнением Текст |
|
Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
Библиография | Библиогр.: 13 назв. |
керамические фторидные мишени магнетронное распыление полусухое прессование |
|
Бойко, А. А. Дробышевская, Н. Е. Белый, Д. И. Павленок, А. В. |
|
Вестник Гомельского государственного технического университета имени П. О. Сухого 2012 № 3. - С. 62-67 |
|
Тип документа | b |