| Индекс УДК | 621.781.75 |
|
Керамические фторидные мишени для магнетронного распыления, формируемые методом полусухого прессования с вакуумным уплотнением Текст |
|
|
Вестник Гомельского государственного технического университета имени П. О. Сухого 2012 № 3. - С. 62-67 |
