Керамические фторидные мишени для магнетронного распыления, формируемые методом полусухого прессования с вакуумным уплотнением
Подденежный, Е. Н., Бойко, А. А., Дробышевская, Н. Е., Белый, Д. И., Павленок, А. В.
Керамические фторидные мишени для магнетронного распыления, формируемые методом полусухого прессования с вакуумным уплотнением, [Текст]
ил.
Вестник Гомельского государственного технического университета имени П. О. Сухого, 2012, № 3. - С. 62-67
