| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/355911745 |
| Дата корректировки | 20:19:24 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382 |
| Симакин, С. Б. | |
|
Неразрушающий контроль процесса ионно-лучевого травления наноразмерных гетероструктур Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 8 назв. |
|
гетерокомпозиции ионно-лучевое травление ионно-индуцированный ток |
|
|
Сергиенко, А. А. Кузнецов, Г. Д. Курочка, А. С. Курочка, С. П. Ходос, Ю. А. Харламов, Н. А. Пушкарев, М. А. |
|
|
Заводская лаборатория. Диагностика материалов 2011 Т. 77, № 3. - С. 28-34 |
|
| Тип документа | b |
