Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Неразрушающий контроль процесса ионно-лучевого травления наноразмерных гетероструктур
Поиск

Неразрушающий контроль процесса ионно-лучевого травления наноразмерных гетероструктур

Авторы: Симакин, С. Б. Сергиенко, А. А. Кузнецов, Г. Д. Курочка, А. С. Курочка, С. П. Ходос, Ю. А. Харламов, Н. А. Пушкарев, М. А.
Подробная информация
Индекс УДК 621.382
Неразрушающий контроль процесса ионно-лучевого травления наноразмерных гетероструктур
Текст
Заводская лаборатория. Диагностика материалов
2011
Т. 77, № 3. - С. 28-34