Неразрушающий контроль процесса ионно-лучевого травления наноразмерных гетероструктур
Симакин, С. Б., Сергиенко, А. А., Кузнецов, Г. Д., Курочка, А. С., Курочка, С. П., Ходос, Ю. А., Харламов, Н. А., Пушкарев, М. А.
Неразрушающий контроль процесса ионно-лучевого травления наноразмерных гетероструктур, [Текст]
ил.
Заводская лаборатория. Диагностика материалов, 2011, Т. 77, № 3. - С. 28-34
