| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | ivch24_to67_vy12_ss80_ad1 |
| Дата корректировки | 11:13:25 31 марта 2025 г. |
| Кодируемые данные | 250226s2024||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-ivch24_to67_vy12_ss80_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БУК Омская государственная областная научная библиотека им. А.С. Пушкина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 544.6 |
| Индекс ББК | 24.57 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Шутов, Д. А. Дмитрий Александрович Ивановский государственный химико-технологический университет 070 |
|
|
Диэлектрический барьерный разряд при атмосферном давлении в парах гексаметилдисилазана используется как способ осаждения покрытий Д. А. Шутов, А. Н. Иванов, А. В. Сунгурова [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 5 рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 84-85 (34 назв.) |
| Аннотация | Представлены результаты исследования процесса осаждения тонких карбидоподобных пленок на поверхности монокристаллического кремния из плазмы диэлектрического барьерного разряда при атмосферном давлении. Для этого применяли метод плазмохимического осаждения из газовой фазы с удаленной плазмой в специальной установке типа "плазмаджет". В качестве прекурсора использовали гексаметилдисилоксан, а осаждение проводили при температурах до 850{0}С. |
|
Химия AR-MARS Электрохимия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
диэлектрические барьерные разряды атмосферное давление пары гексаметилдисилазана гексаметилдисилазан cпособы осаждения покрытий |
|
Иванов, А. Н. Александр Николаевич Ивановский государственный химико-технологический университет 070 Сунгурова, А. В. Александра Вадимовна Ивановский государственный химико-технологический университет 070 Игнатьев, А. А. Андрей Анатольевич Ивановский государственный химико-технологический университет 070 Морозова, Ю. Н. Юлия Николаевна Ивановский государственный химико-технологический университет 070 Рыбкин, В. В. Владимир Владимирович Ивановский государственный химико-технологический университет 070 |
|
| ISSN | 0579-2991 |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2024 |
| Прочая информация | Т. 67, вып. 12. - С. 80-85 |
|
RU 64417093 20250226 RCR |
|
|
RU 64417093 20250226 |
|
|
RU AR-MARS 20250226 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20250226 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
ivch 2024 67 12 80 1 |
|
| 421 | |
| Химия |
