Диэлектрический барьерный разряд при атмосферном давлении в парах гексаметилдисилазана используется как способ осаждения покрытий
Шутов, Д. А., Иванов, А. Н., Сунгурова, А. В., Игнатьев, А. А., Морозова, Ю. Н., Рыбкин, В. В.
Диэлектрический барьерный разряд при атмосферном давлении в парах гексаметилдисилазана используется как способ осаждения покрытий, Д. А. Шутов, А. Н. Иванов, А. В. Сунгурова [и др.]
5 рис.
// Известия вузов. Химия и химическая технология .-
2024 .-
Т. 67, вып. 12. - С. 80-85 .-
