| Индекс УДК | 544.6 |
|
Диэлектрический барьерный разряд при атмосферном давлении в парах гексаметилдисилазана используется как способ осаждения покрытий Д. А. Шутов, А. Н. Иванов, А. В. Сунгурова [и др.] |
|
| Аннотация | Представлены результаты исследования процесса осаждения тонких карбидоподобных пленок на поверхности монокристаллического кремния из плазмы диэлектрического барьерного разряда при атмосферном давлении. Для этого применяли метод плазмохимического осаждения из газовой фазы с удаленной плазмой в специальной установке типа "плазмаджет". В качестве прекурсора использовали гексаметилдисилоксан, а осаждение проводили при температурах до 850{0}С. |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2024 |
| Прочая информация | Т. 67, вып. 12. - С. 80-85 |
