| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zhps24_to91_no4_ss534_ad1 |
| Дата корректировки | 11:17:57 28 февраля 2025 г. |
| Кодируемые данные | 250210s2024||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zhps24_to91_no4_ss534_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 535.33 |
| Индекс ББК | 22.344 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Турдалиев, Т. К. 070 |
|
|
Морфология и оптические характеристики нанопленок TiO[2], выращенных атомно-слоевым осаждением на подложке из макропористого кремния Т. К. Турдалиев, Х. Б. Ашуров, Р. Х. Ашуров |
|
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 539 (29 назв. ) |
| Аннотация | Описан процесс создания макропористой кремниевой подложки, на которую нанесен слой диоксида титана методом атомно-слоевого осаждения. Для формирования макропористой структуры подложки применен метод электрохимического травления. Осаждение TiO[2] проведено с использованием установки SI PEALD. Морфология, структура и оптические свойства осажденной пленки TiO[2] оценены с использованием сканирующей электронной микроскопии с функцией энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии, спектральной эллипсометрии в диапазоне 240-1000 нм и спектроскопии комбинационного рассеяния (КР). В КР-спектрах выявлены пики 144, 194, 397, 639 см{-1}, характерные для одной из модификаций TiO[2] - анатаза. На основе рассчитанных эллипсометрических параметров определены коэффициент поглощения и ширина оптической запрещенной зоны осажденной пленки. |
|
Физика AR-MARS Спектроскопия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
анатаз атомно-слоевое осаждение диоксид титана макропористый кремний метод электрохимического травления осажденные пленки пленки диоксида титана спектральная эллипсометрия |
|
Ашуров, Х. Б. 070 Ашуров, Р. Х. 070 |
|
| ISSN | 0514-7506 |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2024 |
| Прочая информация | Т. 91, № 4. - С. 534-539 |
|
RU 43013090 20250210 RCR |
|
|
RU 43013090 20250210 |
|
|
RU AR-MARS 20250210 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20250210 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zhps 2024 91 4 534 1 |
|
| 718 | |
| Спектроскопия наноструктур |
