| Индекс УДК | 535.33 |
|
Морфология и оптические характеристики нанопленок TiO[2], выращенных атомно-слоевым осаждением на подложке из макропористого кремния Т. К. Турдалиев, Х. Б. Ашуров, Р. Х. Ашуров |
|
| Аннотация | Описан процесс создания макропористой кремниевой подложки, на которую нанесен слой диоксида титана методом атомно-слоевого осаждения. Для формирования макропористой структуры подложки применен метод электрохимического травления. Осаждение TiO[2] проведено с использованием установки SI PEALD. Морфология, структура и оптические свойства осажденной пленки TiO[2] оценены с использованием сканирующей электронной микроскопии с функцией энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии, спектральной эллипсометрии в диапазоне 240-1000 нм и спектроскопии комбинационного рассеяния (КР). В КР-спектрах выявлены пики 144, 194, 397, 639 см{-1}, характерные для одной из модификаций TiO[2] - анатаза. На основе рассчитанных эллипсометрических параметров определены коэффициент поглощения и ширина оптической запрещенной зоны осажденной пленки. |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2024 |
| Прочая информация | Т. 91, № 4. - С. 534-539 |
