| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | opsp24_to132_no1_ss42_ad1 |
| Дата корректировки | 8:38:50 30 сентября 2024 г. |
| Кодируемые данные | 240902s2024||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
|
10. 61011/OS. 2024. 01. 57547. 13-24 DOI |
|
| Системный контрольный номер | RUMARS-opsp24_to132_no1_ss42_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 535.2/3 |
| Индекс ББК | 22.343 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Ковалев, М. С. Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН 070 |
|
|
Импульсный лазерный отжиг кремния, имплантированного ионами марганца М. С. Ковалев, И. М. Подлесных, Р. И. Баталов [и др.] |
|
| Объем | 1 файл (409 Кб) |
| Текст | |
| электронный | |
| Примечание |
Загл. с титул. экрана Статья, представленная на конференции "Сверхбыстрые оптические явления (UltrafastLight-2023) " |
| Библиография | Библиогр.: с. 45-46 (17 назв.) |
| Аннотация | Описана методика импульсного лазерного отжига кремния, предварительно сверхлегированного атомами марганца с помощью ионной имплантации. Подобраны оптимальные режимы лазерного отжига, которые обеспечивали наилучшую кристалличность образцов. Проанализировано влияние импульсного лазерного отжига на некоторые оптические и структурные свойства сверхлегированных кремниевых пластин на основе спектров комбинационного рассеяния, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии, спектров инфракрасного поглощения в диапазоне волновых чисел от 700 до 1300 cm{-1}. |
| Примеч. о целев. назн. | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
|
Физика AR-MARS Физическая оптика AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
кремний отжиг кремния лазерный отжиг кремния импульсный отжиг кремния ионы марганца имплантирование ионами марганца имплантированный кремний сверхлегирование |
|
Подлесных, И. М. Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН; Национальный исследовательский университет "МИЭТ"; ГК "Лазеры и аппаратура" 070 Баталов, Р. И. Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского ФИЦ Казанского научного центра РАН 070 Сцепуро, Н. Г. Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН 070 Кудряшов, С. И. Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН 070 |
|
|
"Сверхбыстрые оптические явления (UltrafastLight-2023) ", конференция Москва 2023 Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 2782-6694 |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2024 |
| Прочая информация | Т. 132, № 1. - С. 42-46 |
|
RU 19013582 20240902 RCR |
|
|
RU 19013582 20240902 |
|
|
RU AR-MARS 20240903 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20240903 |
|
|
https://www.elibrary.ru/item.asp?id=67211225 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
opsp 2024 132 1 42 1 |
|
| 13761 | |
| Лазерная физика и лазерная оптика | |
| drc cu | |
| uabc | |
| html |
