Импульсный лазерный отжиг кремния, имплантированного ионами марганца
Ковалев, М. С., Подлесных, И. М., Баталов, Р. И., Сцепуро, Н. Г., Кудряшов, С. И.
Импульсный лазерный отжиг кремния, имплантированного ионами марганца, М. С. Ковалев, И. М. Подлесных, Р. И. Баталов [и др.]
1 файл (409 Кб) .-
Загл. с титул. экрана .-Статья, представленная на конференции "Сверхбыстрые оптические явления (UltrafastLight-2023) " .-
// Оптика и спектроскопия .-
2024 .-
Т. 132, № 1. - С. 42-46 .-