| Индекс УДК | 535.2/3 |
|
Импульсный лазерный отжиг кремния, имплантированного ионами марганца М. С. Ковалев, И. М. Подлесных, Р. И. Баталов [и др.] |
|
| Объем | 1 файл (409 Кб) |
| Примечание |
Загл. с титул. экрана Статья, представленная на конференции "Сверхбыстрые оптические явления (UltrafastLight-2023) " |
| Аннотация | Описана методика импульсного лазерного отжига кремния, предварительно сверхлегированного атомами марганца с помощью ионной имплантации. Подобраны оптимальные режимы лазерного отжига, которые обеспечивали наилучшую кристалличность образцов. Проанализировано влияние импульсного лазерного отжига на некоторые оптические и структурные свойства сверхлегированных кремниевых пластин на основе спектров комбинационного рассеяния, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии, спектров инфракрасного поглощения в диапазоне волновых чисел от 700 до 1300 cm{-1}. |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2024 |
| Прочая информация | Т. 132, № 1. - С. 42-46 |
|
https://www.elibrary.ru/item.asp?id=67211225 |
