| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | BY/FL BSU/Stat/MazanikIN/47b8f072747b46cb8831f6a75a05e5a6 |
| Дата корректировки | 12:16:56 29 апреля 2024 г. |
| Кодируемые данные | 240311s2024||||by |||||||||||||||||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
|
070 Пилипенко, В. А. член-корреспондент Владимир Александрович НАН Беларуси |
|
|
Механизм взаимодействия алюминия с поликремнием при формировании омического контакта методами длительной и быстрой термообработок В. А. Пилипенко, Н. С. Ковальчук, Д. В. Жигулин [и др.] |
|
| Дата издания оригинала | 2024 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 3 рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 46-47 (14 назв.) |
| Аннотация | Установлено, что формирование омического контакта между алюминием и поликремнием протекает за счет взаимной диффузии алюминия в поликремний и кремния в алюминий. Показано, что их диффузия в основном протекает по межзеренной области как в пленке поликремния, так и в пленке алюминия. |
|
Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы |
|
| Ключевые слова |
диффузии алюминий поликремний термообработка электронная микроскопия растровая микроскопия |
|
070 Ковальчук, Н. С. кандидат технических наук Наталья Станиславовна 070 Жигулин, Д. В. Дмитрий Владимирович 070 Шестовский, Д. В. Дмитрий Викторович 070 Анищик, В. М. доктор физико-математических наук Виктор Михайлович Белорусский государственный университет 070 Понарядов, В. В. кандидат физико-математических наук Владимир Васильевич Белорусский государственный университет |
|
|
BY/FL BSU/Stat/MazanikIN/2e8af63d3e5b4de7942193b937fd3315 Журнал Белорусского государственного университета. Физика 2024 № 1. - С. 42-48 2520-2243 |
|
| RU | |
| 863 | |
|
https://elib.bsu.by/handle/123456789/310021 |
|
| Тип документа | b |
| Физика и техника полупроводников |
