| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | BY/FL BSU/Stat/Lesovaya/e02ecd8fee014ba497576b3373d48d36 |
| Дата корректировки | 11:08:51 31 июля 2023 г. |
| Кодируемые данные | 230614s2023||||by |||||||||||||||||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 621.382 |
| Индекс ББК | 32.852 |
|
070 Пилипенко, В. А. член-корреспондент Владимир Александрович НАН Беларуси |
|
|
Влияние длительной и быстрой термообработок на формирование границы раздела алюминий – поликремний В. А. Пилипенко [и др.] |
|
| Дата издания оригинала | 2023 |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 55-56 (20 назв.) |
| Аннотация | Исследовано влияние длительной и быстрой термообработок на формирование границы раздела алюминий – поликремний на структурах алюминий – поликремний – двуокись кремния в целях изучения омических контактов в элементной базе интегральных микросхем. |
|
Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы |
|
| Ключевые слова |
алюминий поликремний омический контакт термообработка интегральные микросхемы электронная микроскопия энергодисперсионный микроанализ |
|
070 Ковальчук, Н. С. кандидат технических наук Наталья Станиславовна 070 Жигулин, Д. В. Дмитрий Владимирович 070 Шестовский, Д. В. Дмитрий Викторович 070 Анищик, В. М. доктор физико-математических наук Виктор Михайлович Белорусский государственный университет 070 Понарядов, В. В. кандидат физико-математических наук Владимир Васильевич Белорусский государственный университет |
|
|
BY/FL BSU/Stat/Lesovaya/dbebf3c7c7b14624942fce951b0a4d63 Журнал Белорусского государственного университета. Физика 2023 № 2. - С. 51-57 2520-2243 |
|
| RU | |
| 863 | |
|
https://elib.bsu.by/handle/123456789/298758 |
|
| Тип документа | b |
| Физика и техника полупроводников |
