| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zfch23_to97_no1_ss148_ad1 |
| Дата корректировки | 9:27:10 2 мая 2023 г. |
| Кодируемые данные | 230323s2023||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zfch23_to97_no1_ss148_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Казанский национальный исследовательский технологический университет, Учебно-научный информационный центр МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 544.72 |
| Индекс ББК | 24.58 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Мочалов, Л. А. 070 |
|
|
Получение методом PECVD тонких пленок сульфида галлия и изучение их свойств Л. А. Мочалов, М. А. Кудряшов, А. А. Логунов [и др.] |
|
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: c. 154 (35 назв.) |
| Аннотация | Тонкие пленки GaSх впервые получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы, при этом высокочистые летучие производные соответствующих макрокомпонентов – хлорид галлия и сероводород – использованы в качестве исходных веществ. |
|
Химия AR-MARS Физическая химия поверхностных явлений AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
сульфид галлия тонкие пленки плазмохимическое осаждение |
| газовая фаза | |
|
Кудряшов, М. А. 070 Логунов, А. А. 070 Вшивцев, М. А. 070 Прохоров, И. О. 070 Воротынцев, В. М. 070 Малышев, В. М. 070 Сазанова, Т. С. 070 Кудряшова, Ю. П. 070 Буланов, Е. Н 070 Князев, А. В. 070 |
|
| ISSN | 0044-4537 |
| Название источника | Журнал физической химии |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | Т. 97, № 1. - С. 148-154 |
|
RU 42013534 20230323 RCR |
|
|
RU 42013534 20230323 |
|
|
RU AR-MARS 20230405 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20230405 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zfch 2023 97 1 148 1 |
|
| 12811 | |
| Физическая химия дисперсных систем и поверхностных явлений |
