| Индекс УДК | 544.72 |
|
Получение методом PECVD тонких пленок сульфида галлия и изучение их свойств Л. А. Мочалов, М. А. Кудряшов, А. А. Логунов [и др.] |
|
| Аннотация | Тонкие пленки GaSх впервые получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы, при этом высокочистые летучие производные соответствующих макрокомпонентов – хлорид галлия и сероводород – использованы в качестве исходных веществ. |
| Название источника | Журнал физической химии |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | Т. 97, № 1. - С. 148-154 |
