Получение методом PECVD тонких пленок сульфида галлия и изучение их свойств
Мочалов, Л. А., Кудряшов, М. А., Логунов, А. А., Вшивцев, М. А., Прохоров, И. О., Воротынцев, В. М., Малышев, В. М., Сазанова, Т. С., Кудряшова, Ю. П., Князев, А. В.
Получение методом PECVD тонких пленок сульфида галлия и изучение их свойств, Л. А. Мочалов, М. А. Кудряшов, А. А. Логунов [и др.]
// Журнал физической химии .-
2023 .-
Т. 97, № 1. - С. 148-154 .-
