| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | BY/FL BSU/STAT/VodnevaE/421d715e44d54b37af13e2df6c49e993 |
| Дата корректировки | 9:16:18 28 декабря 2022 г. |
| Кодируемые данные | 221209s2022||||by |||||||||||||||||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 537.311.33 |
| Индекс ББК | 22.379 |
|
070 Оджаев, В. Б. Владимир Борисович доктор физико-математических наук Белорусский государственный университет |
|
|
Электрофизические характеристики силовых МОП-трансзисторов, дополнительно имплантированных ионами азота В. Б. Оджаев [и др.] |
|
| Дата издания | 2022 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 7 рис., 1 табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 91 (14 назв.) |
| Аннотация | Исследованы электрофизические характеристики силовых МОП-трансзисторов, дополнительно имплантированных ионами азота. |
|
Физика Физика полупроводников и диэлектриков |
|
| Ключевые слова |
диэлектрики ионная имплантация ионы азота силовые МОП-транзисторы термический отжиг |
|
070 Петлицкий, А. Н. Александр Николаевич "Интеграл" - управляющая компания холдинга "Интеграл" кандидат физико-математических наук 070 Просолович, В. С. кандидат физико-математических наук Владислав Савельич Белорусский государственный университет 070 Ковальчук, Н. С. кандидат технических наук Наталья Станиславовна "Интеграл" - управляющая компания холдинга "Интеграл" 070 Соловьев, Я. А. кандидат технических наук Ярослав Александрович "Интеграл" - управляющая компания холдинга "Интеграл" 070 Шестовский, Д. В. Дмитрий Викторович "Интеграл" - управляющая компания холдинга "Интеграл" 070 Явид, В. Ю. кандидат физико-математических наук Валентин Юльянович Белорусский государственный университет 070 Янковский, Ю. Н. кандидат физико-математических наук Юрий Николаевич Белорусский государственный университет |
|
|
BY/FL BSU/STAT/VodnevaE/46717fa86dc1432a9aa6e090e27b7ce5 Журнал Белорусского государственного университета. Физика 2022 № 3. - С. 81-92 2520-2243 |
|
| RU | |
| 863 | |
| Тип документа | b |
| Физика и техника полупроводников |
