| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | opsp22_to130_no8_ss1170_ad1 |
| Дата корректировки | 15:32:42 30 ноября 2022 г. |
| Кодируемые данные | 221107s2022||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
|
10. 21883/OS. 2022. 08. 52902. 3483-22 DOI |
|
| Системный контрольный номер | RUMARS-opsp22_to130_no8_ss1170_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 535.33 |
| Индекс ББК | 22.344 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Тихий, А. А. Луганский государственный педагогический университет 070 |
|
|
Формирование плёнок In[2]O[3] методом магнетронного напыления на подложках Al[2]O[3] (012) А. А. Тихий, Ю. М. Николаенко, Е. А. Свиридова, И. В. Жихарев |
|
| Объем | 1 файл (107 Кб) |
| Текст | |
| электронный | |
| Примечание | Загл. с титул. экрана |
| Библиография | Библиогр.: с. 1173 (30 назв.) |
| Аннотация | Обобщены результаты исследований микроструктуры и оптических характеристик плёнок In[2]O[3], полученных dc-магнетронным методом распыления поликристаллической мишени на монокристаллические сапфировые подложки. Технологические режимы получения плёнок отличались временем напыления, температурой подложки, а также наличием дополнительной термообработки пленочных структур на воздухе. Установлено, что оптический показатель преломления плёнок, осажденных на "холодную" подложку, возрастает в направлении от подложки к внешнему интерфейсу. Термообработка плёнок устраняет неоднородность показателя преломления и приводит к уменьшению ширины запрещённой зоны. Наблюдаемые оптические свойства объясняются неоднородной по толщине микроструктурой плёнок, которая формируется при распылении мишени с относительно невысокой механической прочностью. |
| Примеч. о целев. назн. | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
|
Физика AR-MARS Спектроскопия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
оптические характеристики пленок магнетронное напыление напыление на подложках показатели преломления микроструктура пленок поликристаллические мишени монокристаллические подложки |
|
Николаенко, Ю. М. Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина 070 Свиридова, Е. А. Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина 070 Жихарев, И. В. Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина; Донбасская национальная академия строительства и архитектуры 070 |
|
| ISSN | 0030-4034 |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | Т. 130, № 8. - С. 1170-1173 |
|
RU 19013582 20221107 RCR |
|
|
RU 19013582 20221107 |
|
|
RU AR-MARS 20221107 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20221107 |
|
|
https://elibrary.ru/item.asp?id=49508662 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
opsp 2022 130 8 1170 1 |
|
| 13761 | |
| Спектроскопия конденсированного состояния | |
| drc cu | |
| uabc | |
| html |
