| Индекс УДК | 535.33 |
|
Формирование плёнок In[2]O[3] методом магнетронного напыления на подложках Al[2]O[3] (012) А. А. Тихий, Ю. М. Николаенко, Е. А. Свиридова, И. В. Жихарев |
|
| Объем | 1 файл (107 Кб) |
| Примечание | Загл. с титул. экрана |
| Аннотация | Обобщены результаты исследований микроструктуры и оптических характеристик плёнок In[2]O[3], полученных dc-магнетронным методом распыления поликристаллической мишени на монокристаллические сапфировые подложки. Технологические режимы получения плёнок отличались временем напыления, температурой подложки, а также наличием дополнительной термообработки пленочных структур на воздухе. Установлено, что оптический показатель преломления плёнок, осажденных на "холодную" подложку, возрастает в направлении от подложки к внешнему интерфейсу. Термообработка плёнок устраняет неоднородность показателя преломления и приводит к уменьшению ширины запрещённой зоны. Наблюдаемые оптические свойства объясняются неоднородной по толщине микроструктурой плёнок, которая формируется при распылении мишени с относительно невысокой механической прочностью. |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | Т. 130, № 8. - С. 1170-1173 |
|
https://elibrary.ru/item.asp?id=49508662 |
