| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | BY/FL BSU/STAT/VodnevaE/b7d5bc5ff1b04bb8a5eac4d4ef4a49a4 |
| Дата корректировки | 12:55:37 30 ноября 2022 г. |
| Кодируемые данные | 221101s2022||||by |||||||||||||||||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК |
539.26 539.2 |
| Индекс ББК |
22.361 22.37 |
|
070 Лобанок, М. В. Михаил Владимирович |
|
|
Формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC на Si методом быстрой вакуумно-термической обработки М. В. Лобанок, С. Л. Прокопьев, М. А. Моховиков [и др.] |
|
| Дата издания оригинала | 2022 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 2 рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 84-85 (20 назв.) |
| Аннотация | Представлены результаты исследования структуры и фазового состава эпитаксиальных слоев карбида кремния (SiC), сформированных на кремниевых подложках с ориентацией (100) при быстрой вакуумно-термической обработке. |
|
Физика Экспериментальные методы и аппаратура молекулярной физики Физика твердого тела. Кристаллография в целом |
|
| Ключевые слова |
эпитаксиальные структуры вакуумная карбидизация термическая обработка тонкие пленки |
|
070 Прокопьев, С. Л. Станислав Леонидович Белорусский государственный университет 070 Моховиков, М. А. Максим Александрович Институт прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко БГУ 070 Королик, О. В. кандидат физико-математических наук Ольга Васильевна Белорусский государственный университет 070 Гайдук, П. И. доктор физико-математических наук Петр Иванович Белорусский государственный университет |
|
|
BY/FL BSU/STAT/VodnevaE/e7eaa275b1634c06bc57982e1926630e Журнал Белорусского государственного университета. Физика 2022 № 2. - С. 79-86 2520-2243 |
|
| RU | |
| 863 | |
|
https://elib.bsu.by/handle/123456789/286149 |
|
|
https://doi.org/10.33581/2520-2243-2022-2-79-86 |
|
| Тип документа | b |
| Физика и техника полупроводников |
