Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC на Si методом быстрой вакуумно-термической обработки
Поиск

Формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC на Si методом быстрой вакуумно-термической обработки

Авторы: Лобанок, М. В. Прокопьев, С. Л. Моховиков, М. А. Королик, О. В. Гайдук, П. И.
Подробная информация
Индекс УДК 539.26
539.2
Формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC на Si методом быстрой вакуумно-термической обработки
М. В. Лобанок, С. Л. Прокопьев, М. А. Моховиков [и др.]
Дата издания оригинала 2022