| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zfch22_to96_no10_ss1490_ad1 |
| Дата корректировки | 13:26:43 31 октября 2022 г. |
| Кодируемые данные | 221003s2022||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zfch22_to96_no10_ss1490_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Казанский национальный исследовательский технологический университет, Учебно-научный информационный центр МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 544.72 |
| Индекс ББК | 24.58 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Максумова, А. М. 070 |
|
|
Исследование процесса атомно-слоевого осаждения оксида молибдена и титан-молибденовых оксидных пленок методом кварцевого пьезоэлектрического микровзвешивания Максумова А. М., Абдулагатов И. М., Палчаев Д. К. [и др.] |
|
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: c. 1498 (55 назв.) |
| Аннотация | Проведено исследование процесса термического атомно-слоевого осаждения пленок оксида молибдена с использованием MoOCl[4] и H[2]O. |
|
Химия AR-MARS Физическая химия поверхностных явлений AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
атомно-слоевое осаждение легирование оксид молибдена пьезоэлектрическое микровзвешивание |
| оксидные пленки | |
|
Абдулагатов, И. М. 070 Палчаев, Д. К. 070 Рабаданов, М. Х. 070 Абдулагатов, А. И. 070 |
|
| ISSN | 0044-4537 |
| Название источника | Журнал физической химии |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | Т. 96, № 10. - С. 1490-1498 |
|
RU 42013534 20221003 RCR |
|
|
RU 42013534 20221003 |
|
|
RU AR-MARS 20221005 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20221005 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zfch 2022 96 10 1490 1 |
|
| 12811 | |
| Физическая химия поверхностных явлений |
