Исследование процесса атомно-слоевого осаждения оксида молибдена и титан-молибденовых оксидных пленок методом кварцевого пьезоэлектрического микровзвешивания
Максумова, А. М., Абдулагатов, И. М., Палчаев, Д. К., Рабаданов, М. Х., Абдулагатов, А. И.
Исследование процесса атомно-слоевого осаждения оксида молибдена и титан-молибденовых оксидных пленок методом кварцевого пьезоэлектрического микровзвешивания, Максумова А. М., Абдулагатов И. М., Палчаев Д. К. [и др.]
// Журнал физической химии .-
2022 .-
Т. 96, № 10. - С. 1490-1498 .-