Поиск

Исследование процесса атомно-слоевого осаждения оксида молибдена и титан-молибденовых оксидных пленок методом кварцевого пьезоэлектрического микровзвешивания

Авторы: Максумова, А. М. Абдулагатов, И. М. Палчаев, Д. К. Рабаданов, М. Х. Абдулагатов, А. И.
Подробная информация
Индекс УДК 544.72
Исследование процесса атомно-слоевого осаждения оксида молибдена и титан-молибденовых оксидных пленок методом кварцевого пьезоэлектрического микровзвешивания
Максумова А. М., Абдулагатов И. М., Палчаев Д. К. [и др.]
Аннотация Проведено исследование процесса термического атомно-слоевого осаждения пленок оксида молибдена с использованием MoOCl[4] и H[2]O.
Название источника Журнал физической химии
Место и дата издания 2022
Прочая информация Т. 96, № 10. - С. 1490-1498