| Индекс УДК | 544.72 |
|
Исследование процесса атомно-слоевого осаждения оксида молибдена и титан-молибденовых оксидных пленок методом кварцевого пьезоэлектрического микровзвешивания Максумова А. М., Абдулагатов И. М., Палчаев Д. К. [и др.] |
|
| Аннотация | Проведено исследование процесса термического атомно-слоевого осаждения пленок оксида молибдена с использованием MoOCl[4] и H[2]O. |
| Название источника | Журнал физической химии |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | Т. 96, № 10. - С. 1490-1498 |
