| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | ivch22_to65_vy10_ss47_ad1 |
| Дата корректировки | 13:02:13 31 октября 2022 г. |
| Кодируемые данные | 221019s2022||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-ivch22_to65_vy10_ss47_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БУК Омская государственная областная научная библиотека им. А.С. Пушкина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
eng eng |
| Индекс УДК | 544.55 |
| Индекс ББК | 24.55 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Efremov, A. M. Ивановский государственный химико-технологический университет 070 |
|
|
Plasma composition and SiO[2] etching kinetics in CF[4]/C[4]F[8]/Ar/He mixture: effects of CF[4]/C[4]F[8] mixing ratio and bias power A. M. Efremov, Kwang-Ho Kwon |
|
|
Состав плазмы и кинетикa травления SiO[2] в смеси CF[4]/C[4]F[8]/Ar/He: влияние соотношения CF[4]/C[4]F[8] и мощности смещения rus |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 2 рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 53 (22 назв.) |
| Аннотация | Исследованы характеристики газовой фазы и кинетика реактивно-ионного травления диоксида кремния в плазме CF[4]/C[4]F[8]/Ar/He при варьировании соотношения CF[4]/C[4]F[8] и потенциала смещения в режиме малой (0, 05 Вт/см{3}) вкладываемой мощности. Интерес к такому режиму обусловлен возможностью получения высокой анизотропии травления при малых радиационных повреждениях поверхности. Схема исследования включала диагностику плазмы с помощью зондов Ленгмюра и оптической эмиссионной спектроскопии в варианте внутренней (без использования стандартной добавки) актинометрии. |
|
Химия AR-MARS Химия плазмы AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
плазмы составы плазмы параметры активные частицы диссоциация травление диоксиды кремния газовые фазы реактивно-ионное травление кинетика объемных процессов кинетика гетерогенных процессов низкая плотность плазмы |
| Другие авторы |
Kwang-Ho Kwon Korea University 070 |
| ISSN | 0579-2991 |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | Т. 65, вып. 10. - С. 47-53 |
|
RU 64417093 20221019 RCR |
|
|
RU 64417093 20221019 |
|
|
RU AR-MARS 20221019 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20221019 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
ivch 2022 65 10 47 1 |
|
| 421 | |
| Химия | |
|
Ефремов, А. М. Александр Михайлович 070 |
|
|
Kwang-Ho Kwon 070 |
