| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zhps21_to88_no4_ss550_ad1 |
| Дата корректировки | 9:55:59 29 апреля 2022 г. |
| Кодируемые данные | 220426s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zhps21_to88_no4_ss550_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 535.33 |
| Индекс ББК | 22.344 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Ротштейн, В. М. 070 |
|
|
Метод экспресс-анализа триэтоксисилана В. М. Ротштейн, Х. Б. Ашуров, Р. Х. Ашуров |
|
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 555 (21 назв. ) |
| Аннотация | Описана методика проведения экспресс-анализа триэтоксисилана (TES) — основного промежуточного продукта химических реакций, протекающих в рамках силановой технологии синтеза поликристаллического кремния. Методика разработана на основе данных, полученных в результате комплексных аналитических исследований TES, с использованием хромато-масс-спектрометра MSD 5975C-GC 7890A и спектрометра InViaRaman, обеспечивающих построение градуировочного графика и проведение количественного экспресс-анализа TES с помощью InViaRaman без наличия стандартов. |
|
Физика AR-MARS Спектроскопия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
TES анализ триэтоксисилана градуировочный график качественный экспресс-анализ количественный экспресс-анализ комбинационное рассеяние силановая технология синтеза поликристаллического кремния синтез поликристаллического кремния спектрометр InViaRaman триэтоксисилан хромато-масс-спектрометрия |
|
Ашуров, Х. Б. 070 Ашуров, Р. Х. 070 |
|
| ISSN | 0514-7506 |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 88, № 4. - С. 550-555 |
|
RU 43013090 20220426 RCR |
|
|
RU 43013090 20220426 |
|
|
RU AR-MARS 20220426 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20220426 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zhps 2021 88 4 550 1 |
|
| 718 |
