| Индекс УДК | 535.33 |
|
Метод экспресс-анализа триэтоксисилана В. М. Ротштейн, Х. Б. Ашуров, Р. Х. Ашуров |
|
| Аннотация | Описана методика проведения экспресс-анализа триэтоксисилана (TES) — основного промежуточного продукта химических реакций, протекающих в рамках силановой технологии синтеза поликристаллического кремния. Методика разработана на основе данных, полученных в результате комплексных аналитических исследований TES, с использованием хромато-масс-спектрометра MSD 5975C-GC 7890A и спектрометра InViaRaman, обеспечивающих построение градуировочного графика и проведение количественного экспресс-анализа TES с помощью InViaRaman без наличия стандартов. |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 88, № 4. - С. 550-555 |
