Поиск

Осаждение молибденовых покрытий безводородным методом CVD

Авторы: Лубнин, А. Н. Лебедев, Р. В. Ладьянов, В. И. Пушкарев, Б. Е. Файзуллин, Р. Р. Балдаев, Л. Х. Трещев, С. Ю.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер zamt22_to58_no1_ss61_ad1
Дата корректировки 11:29:59 30 марта 2022 г.
Кодируемые данные 220325s2022||||RU|||||||||||#||||# rus0|
Системный контрольный номер RUMARS-zamt22_to58_no1_ss61_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Научная библиотека Брянского государственного технического университета
МАРС
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
rus
Индекс УДК 669.017
Индекс ББК 34.2
Таблицы для массовых библиотек
Лубнин, А. Н.
070
Осаждение молибденовых покрытий безводородным методом CVD
А. Н. Лубнин, Р. В. Лебедев, В. И. Ладьянов [и др.]
Текст
непосредственный
Библиография Библиогр.: с. 67-69 (40 назв. )
Аннотация Методом рентгеновской дифракции, растровой электронной микроскопии и применением термодинамических расчетов по модели Миедемы изучена структура и морфология молибденовых покрытий, полученных методом CVD в системе MoCl[5]–Cd на подложках из меди, нержавеющей стали (12Х18Н10Т), жаропрочных сплавов Inconel X750 и ЖС6У-ВИ. На медной подложке сформировалось рыхлое, пористое и тонкое (0. 1 мкм) покрытие, на Inconel X750, 12Х18Н10Т и ЖС6У-ВИ – равномерное и сплошное толщиной соответственно 0. 3, 0. 7 и 1. 0 мкм. В ряду подложек М1–Inconel X750–12Х18Н10Т–ЖС6У-ВИ возрастает скорость осаждения молибдена (от 0. 1 до 1. 0 мкм/ч), понижается размер его кристаллитов вплоть до 50 нм, увеличиваются микроискажения решетки до 0. 16%.
Технология металлов
AR-MARS
Металловедение в целом
AR-MARS
Ключевые слова молибденовые покрытия
CVD
жаропрочные стали
жаропрочные сплавы
нержавеющие стали
безводороные методы
термодинамические расчеты
осаждение
Лебедев, Р. В.
070
Ладьянов, В. И.
070
Пушкарев, Б. Е.
070
Файзуллин, Р. Р.
070
Балдаев, Л. Х.
070
Трещев, С. Ю.
070
ISSN 0044-1856
Название источника Физикохимия поверхности и защита материалов
Место и дата издания 2022
Прочая информация Т. 58, № 1. - С. 61-69
RU
24113514
20220325
RCR
RU
24113514
20220325
RU
AR-MARS
20220325
RCR
RU
AR-MARS
20220325
Тип документа b
code
year
to
no
ss
ad
zamt
2022
58
1
61
1
340
Новые вещества, материалы и покрытия