| Индекс УДК | 669.017 |
|
Осаждение молибденовых покрытий безводородным методом CVD А. Н. Лубнин, Р. В. Лебедев, В. И. Ладьянов [и др.] |
|
| Аннотация | Методом рентгеновской дифракции, растровой электронной микроскопии и применением термодинамических расчетов по модели Миедемы изучена структура и морфология молибденовых покрытий, полученных методом CVD в системе MoCl[5]–Cd на подложках из меди, нержавеющей стали (12Х18Н10Т), жаропрочных сплавов Inconel X750 и ЖС6У-ВИ. На медной подложке сформировалось рыхлое, пористое и тонкое (0. 1 мкм) покрытие, на Inconel X750, 12Х18Н10Т и ЖС6У-ВИ – равномерное и сплошное толщиной соответственно 0. 3, 0. 7 и 1. 0 мкм. В ряду подложек М1–Inconel X750–12Х18Н10Т–ЖС6У-ВИ возрастает скорость осаждения молибдена (от 0. 1 до 1. 0 мкм/ч), понижается размер его кристаллитов вплоть до 50 нм, увеличиваются микроискажения решетки до 0. 16%. |
| Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | Т. 58, № 1. - С. 61-69 |
