Осаждение молибденовых покрытий безводородным методом CVD
Лубнин, А. Н., Лебедев, Р. В., Ладьянов, В. И., Пушкарев, Б. Е., Файзуллин, Р. Р., Балдаев, Л. Х., Трещев, С. Ю.
Осаждение молибденовых покрытий безводородным методом CVD, А. Н. Лубнин, Р. В. Лебедев, В. И. Ладьянов [и др.]
// Физикохимия поверхности и защита материалов .-
2022 .-
Т. 58, № 1. - С. 61-69 .-
