| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/694168587 |
| Дата корректировки | 8:55:33 30 декабря 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2019.01.46999.8897 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Ли, Г. В. | |
|
Фотоанодирование n-Si в присутствии перекиси водорода: зависимость от напряжения Электронный ресурс |
|
| Photoanodization of n-Si in the presence of hydrogen peroxide: voltage dependence | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 13 назв. |
| Аннотация | Исследованы закономерности процесса электрохимического травления n-Si с низким уровнем легирования в условиях освещения обратной стороны образца при использовании раствора с малой концентрацией HF и высокой концентрацией перекиси водорода. Полученные данные сравниваются с данными для контрольного электролита, не содержащего H[2]О[2]. Исследованы морфология макропор, скорость их роста, пористость, эффективная валентность и количество растворенного кремния в зависимости от приложенного напряжения. Проведены исследования кинетики процесса при низком и высоком напряжении смещения. Обнаружено, что при одинаковой подсветке начальный фототок в перекисном электролите в ~ 2 раза меньше, чем в электролите, не содержащем H[2]О[2], что позволяет утверждать о более низкой квантовой эффективности фототока. Однако с увеличением времени травления ток в перекисном электролите сильно возрастает и становится больше, чем в контрольном электролите. Установлено, что в присутствии H[2]O[2] скорость роста макропор в глубину возрастает более чем в 2 раза, а пористость уменьшается. Вертикальные каналы макропор имеют диаметр, меньший, чем в случае макропор, образовавшихся в водном электролите, и их стенки плохо пассивированы, что обусловливает ветвление и появление вторичных мезопор, число которых возрастает с напряжением. Эффективная валентность растворения кремния (выход по току) в присутствии H[2]O[2] уменьшается до значений, меньших чем 2. Полученные результаты интерпретируются в рамках моделей Геришера и Коласинского |
| Лихачёв, А. И. | |
| Ключевые слова | электрохимическое травление |
|
фотоанодирование перекись водорода электролиты кремний |
|
|
Астрова, Е. В. Лихачев, А. И. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 1. - С. 119-131 |
|
| Имя макрообъекта | Ли_фотоанодирование |
| Тип документа | b |
