Поиск

Параметрическая модель спектров оптических постоянных Hg[1-x]Cd[x]Te и определение состава соединения

Авторы: Швец, В. А. Марин, Д. В. Ремесник, В. Г. Азаров, И. А. Якушев, М. В. Рыхлицкий, С. В.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/691670926
Дата корректировки 10:48:46 1 декабря 2021 г.
10.21883/OS.2020.12.50315.349-20
Служба первич. каталог. Феллер
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 535.33
Швец, В. А.
Параметрическая модель спектров оптических постоянных Hg[1-x]Cd[x]Te и определение состава соединения
Электронный ресурс
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 25 назв.
Аннотация Представлена параметрическая модель, описывающая спектры оптических постоянных n и k твердого раствора Hg[1-x]CdTe (КРТ) для значений x в диапазоне от 0.2 до 0.4. Модель базируется на эмпирических данных, измеренных in situ в процессе эпитаксиального роста слоев твердого раствора. Рассмотрены варианты использования полученной модели для определения состава КРТ in situ в реальном времени. Предложена методика определения состава, основанная на спектральных эллипсометрических измерениях, которая обеспечивает погрешность не более бх = ±0.0035.
кадмий-ртуть-теллур
состав соединения
эллипсометрия
спектры оптических констант
in situ контроль
параметрические модели
оптические постоянные
Марин, Д. В.
Ремесник, В. Г.
Азаров, И. А.
Якушев, М. В.
Рыхлицкий, С. В.
Оптика и спектроскопия
2020
Т. 128, вып. 12. - С. 1815-1820
Имя макрообъекта Швец_параметрическая
Тип документа b