| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/690287463 |
| Дата корректировки | 10:42:21 15 ноября 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2018.10.46453.8838 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Ундалов, Ю. К. | |
|
Изучение влияния временных характеристик модулированной DC-плазмы с (SiH[4]-Ar-O[2])-газовой фазой на рост ncl-Si в матрице a-SiO[x] : H (CO[2] = 15.5мол%) Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 36 назв. |
| Аннотация | Проведено изучение влияния различных режимов работы модулированной по времени DC-плазмы на формирование аморфной матрицы a-SiO[x] : H и нанокластеров кремния с помощью ИК-спектров и спектров фотолюминесценции. Модуляция DC-плазмы заключалась в многократном (n = 180) выключении и включении катушки магнита магнетрона с различным сочетанием времени [toff] = 1, 2, 5, 10, 15 с и t[on] = 5, 10, 15 с соответственно, при неизменной концентрации кислорода (CO[2] = 15.5мол%) в (SiH[4] + Ar + О[2])-газовой смеси. Подтверждено положительное влияние эффекта самоиндукции на формирование как аморфной матрицы, так и нанокластеров кремния. Наибольшие значения x в a-SiO[x] :H и интенсивности фотолюминесценции наблюдались при сочетании длительного пребывания плазмы в рабочем состоянии (t[on] = 10-15 с) и наибольшего значения напряженности магнитного поля. Замечено также влияние величины toff на процессы формирования как матрицы a-SiO[x] : H, так и нанакластеров кремния. |
| Ключевые слова | нанокластеры кремния |
|
кремний модуляция DC-плазмы фотолюминесценция спектры фотолюминесценции ИК-спектры |
|
|
Теруков, Е. И. Трапезникова, И. Н. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 10. - С. 1137-1144 |
|
| Имя макрообъекта | Ундалов_изучение |
| Тип документа | b |
