Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Изучение влияния временных характеристик модулированной DC-плазмы с (SiH[4]-Ar-O[2])-газовой фазой на рост ncl-Si в матрице a-SiO[x] : H (CO[2] = 15.5мол%)
Поиск

Изучение влияния временных характеристик модулированной DC-плазмы с (SiH[4]-Ar-O[2])-газовой фазой на рост ncl-Si в матрице a-SiO[x] : H (CO[2] = 15.5мол%)

Авторы: Ундалов, Ю. К. Теруков, Е. И. Трапезникова, И. Н.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Изучение влияния временных характеристик модулированной DC-плазмы с (SiH[4]-Ar-O[2])-газовой фазой на рост ncl-Si в матрице a-SiO[x] : H (CO[2] = 15.5мол%)
Электронный ресурс
Ключевые слова нанокластеры кремния
Физика и техника полупроводников
2018
Т. 52, вып. 10. - С. 1137-1144
Имя макрообъекта Ундалов_изучение