Поиск

Рост наноструктур в системе Ga(In)AsP-GaAs в квазиравновесных условиях

Авторы: Карлина, Л. Б. Власов, А. С. Сошников, И. П. Смирнова, И. П. Бер, Б. Я. Смирнов, А. Б.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/689872785
Дата корректировки 15:35:41 10 ноября 2021 г.
DOI 10.21883/FTP.2018.10.46468.8866
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Карлина, Л. Б.
Рост наноструктур в системе Ga(In)AsP-GaAs в квазиравновесных условиях
Электронный ресурс
Ga(In)AsP-GaAs nanostructure growth at quasiequilibrium conditions
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 24 назв.
Аннотация Впервые рассмотрено формирование наноструктур на поверхности GaAs в квазиравновесных условиях в квазизамкнутом объеме из насыщенных паров фосфора и индия в присутствии Au-катализатора, при росте по механизму "пар-жидкость-кристалл". Исследовалось влияние температуры процесса и размера Au-капель на морфологию и состав полученных наноструктур. Приведены экспериментальные данные по образованию в данных условиях нанокристаллов Ga(In)AsP на подложках GaAs различной ориентации. Установлено, что температурным интервалом роста наноструктур при использовании данного метода является диапазон 540-640°C при размере капель от 30 до 120 нм. Показано, что размер капель катализатора существенно влияет на морфологию и скорость роста полученных наноструктур, тогда как их состав слабо зависит как от размера капель, так и от ориентации подложки.
Ключевые слова наноструктуры
арсенид галлия
подложки GaAs
квазиравновесные условия
олово-фосфид индия
спектры комбинационного рассеяния света
рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
Власов, А. С.
Сошников, И. П.
Смирнова, И. П.
Бер, Б. Я.
Смирнов, А. Б.
Физика и техника полупроводников
2018
Т. 52, вып. 10. - С. 1244-1249
Имя макрообъекта Карлина_рост
Тип документа b