Маркер записи | n |
Контрольный номер | RU/IS/BASE/688815465 |
Дата корректировки | 10:05:48 29 октября 2021 г. |
10.21883/FTT.2017.05.44388.091 | |
Служба первич. каталог. | Войтик |
Код языка каталог. | rus |
Правила каталог. | PSBO |
Код языка издания | rus |
Индекс УДК | 539.21 |
Грачев, Д. А. | |
Влияние температуры осаждения и отжига на люминесценцию германиевых нанокристаллов, сформированных в пленках GeO[x] и многослойных структурах Ge/SiO[2] Электронный ресурс |
|
Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
Библиография | Библиогр.: 22 назв. |
Аннотация | Методом физического осаждения в вакууме получены содержащие нанокристаллы германия пленки GeO[x] и многослойные нанопериодические структуры Ge/SiO[2], управление свойствами которых осуществлялось путем варьирования температуры осаждения (35-590°С) и отжига (400-1000°C). Проведено сравнительное исследование оптических и структурных характеристик наносистем методами комбинационного рассеяния, ИК-спектроскопии, фотолюминесценции и электронной микроскопии, показавшими качественное подобие наносистем. Установлено, что отжиг при 600-800°C приводит к образованию нанокристаллов германия с высокой плотностью ~ 10{12} cm{-2}), в то время как в неотожженных материалах их плотность составляет ~ 10{10} cm{-2}. Средний размер нанокристаллов 5 ± 2 nm. Для обеих систем обнаружены три полосы люминесценции: при 1.2, 1.5-1.7 и 1.7-2.0 eV, происхождение которых связано с нанокристаллами Ge, кислородно-дефицитными центрами в GeO[x] и дефектами границы Ge/диэлектрик соответственно. |
нанокристаллы германий пленки тонкие пленки аморфные пленки многослойные структуры композитные структуры физическое осаждение в вакууме отжиг люминесценция оптические характеристики структурные характеристики |
|
Другие авторы | Ершов, А. В. |
Карабанова, И. А. Пирогов, А. В. Нежданов, А. В. Машин, А. И. Павлов, Д. А. |
|
Название источника | Физика твердого тела |
Место и дата издания | 2017 |
Прочая информация | Т. 59, вып. 5. - С. 965-971 |
Имя макрообъекта | Грачев_влияние |
Тип документа | b |