Поиск

Влияние температуры осаждения и отжига на люминесценцию германиевых нанокристаллов, сформированных в пленках GeO[x] и многослойных структурах Ge/SiO[2]

Авторы: Грачев, Д. А. Ершов, А. В. Карабанова, И. А. Пирогов, А. В. Нежданов, А. В. Машин, А. И. Павлов, Д. А.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/688815465
Дата корректировки 10:05:48 29 октября 2021 г.
10.21883/FTT.2017.05.44388.091
Служба первич. каталог. Войтик
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 539.21
Грачев, Д. А.
Влияние температуры осаждения и отжига на люминесценцию германиевых нанокристаллов, сформированных в пленках GeO[x] и многослойных структурах Ge/SiO[2]
Электронный ресурс
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 22 назв.
Аннотация Методом физического осаждения в вакууме получены содержащие нанокристаллы германия пленки GeO[x] и многослойные нанопериодические структуры Ge/SiO[2], управление свойствами которых осуществлялось путем варьирования температуры осаждения (35-590°С) и отжига (400-1000°C). Проведено сравнительное исследование оптических и структурных характеристик наносистем методами комбинационного рассеяния, ИК-спектроскопии, фотолюминесценции и электронной микроскопии, показавшими качественное подобие наносистем. Установлено, что отжиг при 600-800°C приводит к образованию нанокристаллов германия с высокой плотностью ~ 10{12} cm{-2}), в то время как в неотожженных материалах их плотность составляет ~ 10{10} cm{-2}. Средний размер нанокристаллов 5 ± 2 nm. Для обеих систем обнаружены три полосы люминесценции: при 1.2, 1.5-1.7 и 1.7-2.0 eV, происхождение которых связано с нанокристаллами Ge, кислородно-дефицитными центрами в GeO[x] и дефектами границы Ge/диэлектрик соответственно.
нанокристаллы
германий
пленки
тонкие пленки
аморфные пленки
многослойные структуры
композитные структуры
физическое осаждение в вакууме
отжиг
люминесценция
оптические характеристики
структурные характеристики
Другие авторы Ершов, А. В.
Карабанова, И. А.
Пирогов, А. В.
Нежданов, А. В.
Машин, А. И.
Павлов, Д. А.
Название источника Физика твердого тела
Место и дата издания 2017
Прочая информация Т. 59, вып. 5. - С. 965-971
Имя макрообъекта Грачев_влияние
Тип документа b