| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/688226919 |
| Дата корректировки | 14:13:05 22 октября 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2018.07.46051.8782 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Виноградов, А. Я. | |
|
Структура и свойства полученных методом магнетронного распыления тонких графитоподобных пленок Электронный ресурс |
|
| Structure and properties of thin graphite-like films fabricated by magnetron sputtering | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 30 назв. |
| Аннотация | Исследованы структурные, электрические и оптические свойства тонких графитоподобных пленок, полученных на кристаллическом кремнии и кварце методом магнетронного распыления при температурах подложки в диапазоне от 320 до 620°C. Из анализа спектров комбинационного рассеяния света установлено, что с ростом температуры подложки происходит увеличение характерного размера кристаллитов, уменьшение концентрации структурных дефектов и содержания аморфного углерода в фазовом составе пленок. С увеличением температуры подложки в спектрах оптического поглощения в ультрафиолетовой области спектра наблюдался сдвиг максимума интенсивности поглощения в область больших длин волн и возрастание поглощения в видимой и ближней ИК-областях спектра. С ростом температуры осаждения удельная электропроводность пленок увеличивалась с 0.2 Ом{-1} · см{-1} при 320°C до 30 Ом{-1} · см{-1} при 620°C. |
| Ключевые слова | графитоподобные пленки |
|
тонкие графитоподобные пленки магнетронное распыление кристаллический кремний кварц спектры оптического поглощения |
|
|
Грудинкин, С. А. Беседина, Н. А. Коняхин, С. В. Рабчинский, М. К. Эйдельман, Е. Д. Голубев, В. Г. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 7. - С. 775-781 |
|
| Имя макрообъекта | Виноградов_структура |
| Тип документа | b |
