Структура и свойства полученных методом магнетронного распыления тонких графитоподобных пленок
Виноградов, А. Я., Грудинкин, С. А., Беседина, Н. А., Коняхин, С. В., Рабчинский, М. К., Эйдельман, Е. Д., Голубев, В. Г.
Структура и свойства полученных методом магнетронного распыления тонких графитоподобных пленок, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2018, Т. 52, вып. 7. - С. 775-781
Виноградов_структура
